FLTZH高溫系列

適用范圍

應(yīng)用：
CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫熱量的工藝制程中，滿足半導體高溫測試需求。
核心技術(shù)與優(yōu)勢：
1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達300℃。
2、控溫精準：采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動等技術(shù)，實現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。
4、氟化液損耗?。禾厥獾拿芊夂脱h(huán)設(shè)計，降低高溫下導致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高：內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對工藝制程不會產(chǎn)生任何污染。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品特點

Product Features

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

CHILLER高溫系列雙通道
型號		FLTZH-2W-2T		FLTZH-5W-2T		FLTZH-10W-2T		FLTZH-5W-2T-HV
介質(zhì)溫度范圍		50℃～+220℃		50℃～+220℃		50℃～+220℃		50℃～+300℃
控制系統(tǒng)		PLC控制器
溫控點控制模式		本體出液口溫控控制模式
		CHUCK溫度控制模式（通信）
溫差控制		可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議		MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋		通過通信
介質(zhì)出口溫控精度		±0.1℃
CHUCK溫控精度		±0.5℃
加熱功率		2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
冷卻能力 kW? AT	220 ℃	2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
	150 ℃	2.5kW	2.5kW	5.5kW	5.5kW	10kW	10kW	5.5kW	5.5kW
	100 ℃	1.5kW	1.5kW	3.5kW	3.5kW	6kW	6kW	3.5kW	3.5kW
	50 ℃	0.5kW	0.5kW	1.1kW	1.1kW	2kW	2kW	1.1kW	1.1kW
流量/壓力		8LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar	15LPM 4bar	15LPM 4bar	8LPM 4bar	8LPM 4bar
操作面板		7寸觸摸屏
安全防護		具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
密閉循環(huán)系統(tǒng)		整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質(zhì)。
接口尺寸		Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc1/2	Rc1/2
冷卻水接口		Rc1/2		Rc1/2		Rc3/4		Rc1/2
冷卻水流量		20LPM max? at 25℃		40LPM max? at 25℃		70LPM max? at 25℃		40LPM max? at 25℃
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035		冷軋板噴塑RAL7035		冷軋板噴塑RAL7035		冷軋板噴塑RAL7035
導熱介質(zhì)		氟化液		氟化液		氟化液		氟化液
外形尺寸 cm		4585130		4585145		55105160		45110145
電源		220V 三相四線制 32A		220V 三相四線制 32A		220V 三相四線制 32A		220V 三相四線制 32A

CHILLER高溫系列單通道
型號		FLTZH-5W	FLTZH-10W
介質(zhì)溫度范圍		50℃～+220℃	50℃～+220℃
控制系統(tǒng)		PLC控制器	PLC控制器
溫控點控制模式		本體出液口溫控控制模式	本體出液口溫控控制模式
溫控點控制模式		CHUCK本體溫度控制模式（通信）	CHUCK本體溫度控制模式（通信）
溫差控制		可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差	可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議		MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口	MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋		通過通信	通過通信
介質(zhì)出口溫控精度		±0.1℃	±0.1℃
CHUCK溫控精度		±0.5℃	±0.5℃
加熱功率		5.5kW	10kW
冷卻能力 kW? AT	220 ℃	5.5kW	10kW
	150 ℃	5.5kW	10kW
	100 ℃	3.5kW	6kW
	50 ℃	1.1kW	2kW
流量/壓力		8LPM 4bar	8LPM 4bar
操作面板		7寸觸摸屏	7寸觸摸屏
安全防護		具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
密閉循環(huán)系統(tǒng)		整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質(zhì)。	整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導熱介質(zhì)。
接口尺寸		Rc1/2	Rc3/4
冷卻水接口		Rc1/2	Rc3/4
冷卻水流量		20LPM max? at 25℃	35LPM max? at 25℃
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑RAL7035	冷軋板噴塑RAL7035
導熱介質(zhì)		氟化液	氟化液
外形尺寸 cm		458590	55105120
電源		220V 三相四線制 32A	220V 三相四線制 32A